亚微米精度3D自动光学检测系统及检测方法
公开
摘要
本发明亚微米精度3D自动光学检测系统，包括汞灯、位于汞灯下方的匀光透镜组、位于匀光透镜组下方的全内反射棱镜、位于全内反射棱镜侧下方的DMD，所述DMD的侧面设有分光镜一，所述DMD与分光镜一之间设有中间体透镜组，所述分光镜一的下方设有物镜，所述物镜下方设有样本，所述物镜上方设有管镜，所述管镜上方设有分光镜二，所述分光镜二上方设有焦后摄像头，所述分光镜二的侧面设有焦前摄像头。本发明通过检测系统采用差动点阵式共聚焦3D测量方法，提供亚微米精度的在线检测服务。
基本信息
专利标题 ：
亚微米精度3D自动光学检测系统及检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114608446A
申请号 ：
CN202210403239.8
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-04-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
欧阳虎
申请人 ：
汇纳福（无锡）智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区锡勤路8号
代理机构 ：
苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
冷泠
优先权 ：
CN202210403239.8
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B11/02 G01P13/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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