一种用于芯片表面处理装置
公开
摘要

本发明涉及芯片的表面处理技术领域,具体为一种用于芯片表面处理装置,设置在壳体内部的筒体,该筒体的后端设置有旋转电机,该旋转电机通过电机安装基座与壳体的内部固定;旋转电机带动固定轴上的多个装有芯片的卡座组件转动,进而带动通入筒体内的处理颗粒和有机溶剂转动并混合,使得处理颗粒表面均匀的沾有有机溶剂,沾有有机溶剂的处理颗粒在高速转动的筒体内对芯片表面形成碰撞,以带走芯片表面胶体和污渍。本发明通过固定轴的转动带动表面均匀的沾有有机溶剂的处理颗粒转动,处理颗粒在高速转动的筒体内对芯片表面形成碰撞摩擦,以带走芯片表面胶体和污渍,可有效防止芯片表面被刮花,提高了芯片的清理速度。

基本信息
专利标题 :
一种用于芯片表面处理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114558863A
申请号 :
CN202210467061.3
公开(公告)日 :
2022-05-31
申请日 :
2022-04-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄忠承
申请人 :
深圳市赛元微电子有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道8号中国地质大学产学研基地中地大楼B610
代理机构 :
深圳汉林汇融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘临利
优先权 :
CN202210467061.3
主分类号 :
B08B11/00
IPC分类号 :
B08B11/00  B08B11/02  B08B3/08  B08B3/10  B08B7/00  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
法律状态
2022-05-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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