一种改变氧化镓熔体流动性的原料掺杂方法
公开
摘要

本发明公开了一种改变氧化镓熔体流动性的原料掺杂方法。方法为:一、取一定量的Ga单质溶于稀盐酸溶液中,形成GaCl3溶液;二、掺杂元素为Li、Na、K中任意一种,按照一定量的Ga单质的质量计算掺杂剂的质量,将掺杂剂放入GaCl3溶液中;三、将GaCl3溶液进行烘干处理,得到干燥的GaCl3固体;四、将GaCl3固体进行烧结,通入动态氧气,使GaCl3固体完全转化为氧化镓;五、将烧结好的氧化镓取出进行球磨,得到粉末状氧化镓原料。采用本发明进行氧化镓单晶生长,使原料完全熔化,且流动性较好,气泡很好地被排除。铱坩埚边缘和底部温度明显降低,铱金损耗相比原有工艺减少40%以上,降低了成本,延长了坩埚寿命。

基本信息
专利标题 :
一种改变氧化镓熔体流动性的原料掺杂方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114574965A
申请号 :
CN202210482935.2
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-05-06
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张胜男王健王英民霍晓青王新月于凯高飞周金杰
申请人 :
中国电子科技集团公司第四十六研究所
申请人地址 :
天津市河西区洞庭路26号
代理机构 :
天津中环专利商标代理有限公司
代理人 :
王凤英
优先权 :
CN202210482935.2
主分类号 :
C30B29/16
IPC分类号 :
C30B29/16  C30B15/34  C30B15/04  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/16
氧化物
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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