一种电容式压力敏感芯片
授权
摘要
一种电容式压力敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式压力敏感芯片。本实用新型提供一种性能优良的电容式压力敏感芯片。本实用新型包括衬底,其特征在于衬底上设置有感压下极板,下极板上方设置有感压上极板，上极板与下极板之间设置有腔体；下极板上设置有使外界与感压下极板下方的压力腔连通的下极板通孔。
基本信息
专利标题 ：
一种电容式压力敏感芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220348836.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-02-21
授权号 ：
CN216717649U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
姜贵民杨宇新杨超
申请人 ：
午芯（辽宁省）高科技有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市沈河区北京街19-1号（1-19-2）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202220348836.0
主分类号 ：
G01L1/14
IPC分类号 ：
G01L1/14 G01L9/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
