本实用新型公开了剥离液热循环系统，属于半导体加工技术领域，包括安装板，所述安装板顶部的居中部位栓接有固定台，所述固定台顶部的一侧栓接有固定箱，所述固定箱的内腔设置有拆装机构，所述安装板顶部的两侧分别装配有第一循环罐和第二循环罐，所述固定台顶部的另一侧装配有加热器，所述固定箱的顶部活动连接有安装块，所述安装块的顶部装配有循环泵，所述固定箱顶部的两侧均开设有通槽，所述安装块的底部开设有贯穿槽，所述贯穿槽内腔的两侧均开设有卡槽。通过设置有第一循环罐和第二循环罐，有效的避免了单罐循环的自混热的现象，从而可以保证循环系统内液体温度，通过拆装机构便于操作人员对循环泵进行检修，可节约大量的时间。