金属剥离设备化学液循环回收系统
授权
摘要
本实用新型一种金属剥离设备化学液循环回收系统，工艺腔下方设置有接收工艺腔内的工艺化学液的沉淀回收箱，所述沉淀回收箱的下部出液口经隔膜泵后、一级过滤器和二级过滤器后分别连通至两个液罐，且液罐经电磁阀和气泵连接至高压气源，两个液罐的出液口连接至同一供液过滤器的进液口，该供液过滤器的出液口经流量计连通至工艺腔。本实用新型一种金属剥离设备化学液循环回收系统，供液稳定。
基本信息
专利标题 ：
金属剥离设备化学液循环回收系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122241406.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-16
授权号 ：
CN216223312U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
宣海汪竹魏益波陈酉冰
申请人 ：
江苏雷博微电子设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市金山路201号创智园数码港A座一楼东南
代理机构 ：
江阴市权益专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈强
优先权 ：
CN202122241406.7
主分类号 ：
B01D36/04
IPC分类号 ：
B01D36/04 C22B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D36/00
过滤回路或过滤器与其他分离装置的组合
B01D36/04
过滤器与沉淀箱的组合
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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