真空镀膜采用致冷器的冷却方法
专利权的终止
摘要
真空镀膜采用致冷器冷却方法是用在被镀工件必须冷却的真空镀膜技术中。由于采用致冷器冷却，和原有的水或液氮冷却系统相比，具有体积小，结构简单，操作简便，装卸容易，效率高，成本低等优点。它特别适用于易受热损坏的镀件的真空镀膜工艺中。
基本信息
专利标题 ：
真空镀膜采用致冷器的冷却方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85100062A
申请号 ：
CN85100062.2
公开（公告）日 ：
1986-08-06
申请日 ：
1985-04-01
授权号 ：
CN85100062B
授权日 ：
1987-10-07
发明人 ：
许知止李春茂周炳琨
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
廖元秋
优先权 ：
CN85100062.2
主分类号 ：
F25B21/02
IPC分类号 ：
F25B21/02 C23C14/54
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F25
制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化
F25B
制冷机，制冷设备或系统；加热和制冷的联合系统；热泵系统
F25B
制冷机，制冷设备或系统；加热和制冷的联合系统；热泵系统
F25B21/00
应用电或磁效应的制冷机器、装置或系统
F25B21/02
应用珀耳贴效应；应用能斯特—厄廷豪森效应
法律状态
1990-08-15 ：
专利权的终止
1988-04-27 ：
授权
1987-10-07 ：
审定
1986-08-06 ：
公开
1985-09-10 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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