管芯测量观察装置
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
本实用新型是半导体激光或发光二极管管芯的测量观察装置，属于半导体光辐射器件制造或处理时的测量设备。它由抽气泵，通气泵阀，使管芯绕轴和自身作360°旋转和上下移动的机械调节机构及观察显微镜组成。本实用新型配以测量仪器可以测量激光器或发光二极管的电学特性，电光特性，也可观察激光二极管管芯的解理腔面，通气泵阀可使管芯方便的吸附在吸片针上及使管芯自然落入管芯盒中。是LD与LED研究制造过程中的有效监测工具。
基本信息
专利标题 ：
管芯测量观察装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN87201004.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1987-02-05
授权号 ：
CN87201004U
授权日 ：
1988-05-18
发明人 ：
陈瑞璋
申请人 ：
中国科学院上海冶金研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
中国科学院上海专利事务所
代理人 ：
季良赳
优先权 ：
CN87201004.X
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
1991-07-03 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1989-02-08 ：
授权
1988-05-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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