位置绝对测量用电容型测试装置
专利权的终止(专利权有效期届满)
摘要
位置绝对测量用电容型测试器，包括可相对测试轴位移的第一和第二支承构件(20，30)，位于构件20上的第一发射极电极排310，构件30上的第一接收极电极排201A/210B使该排与排310成相对电容耦合，位于构件30上的与排210A/210B排列成行的第二发射极电极排，各第二发射极电极电气连到相应的第一接收极电极，以使其间的偏移量是第二发射极电极相对于测试轴上的基准位置的预定函数。从而实现用同一电极排进行不同分辨力测量和高精度绝对位置测量。
基本信息
专利标题 ：
位置绝对测量用电容型测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1039301A
申请号 ：
CN89106051.0
公开（公告）日 ：
1990-01-31
申请日 ：
1989-05-31
授权号 ：
CN1017746B
授权日 ：
1992-08-05
发明人 ：
尼尔斯·I·安德莫
申请人 ：
株式会社三丰
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张志醒
优先权 ：
CN89106051.0
主分类号 ：
G01B7/02
IPC分类号 ：
G01B7/02 G01D5/24 G08C19/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2009-11-11 ：
专利权的终止(专利权有效期届满)
2002-04-24 ：
其他有关事项
1993-05-26 ：
授权
1992-08-05 ：
审定
1990-09-19 ：
实质审查请求
1990-01-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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