多弧型离子镀膜机
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
一种多弧型离子镀膜机，其镀膜室为筒式结构，室壁与镀膜室底焊接，镀膜室立于镀膜室底座上，镀膜室底上的法兰盘上装有加热器，镀膜室的顶部有带有转动架和工件架的上盖，室壁上开有门，蒸发离化源均布在室壁四周，真空排气系统与镀膜室并排相连。这种镀膜机的高度可大大降低，无需大型特殊厂房，还可制成大型镀膜机。
基本信息
专利标题 ：
多弧型离子镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN89200748.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1989-01-24
授权号 ：
CN2043244U
授权日 ：
1989-08-23
发明人 ：
王殿儒
申请人 ：
北京长城钛金技术联合开发公司
申请人地址 ：
北京市海淀区白石桥路7号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN89200748.6
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/14
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
1997-07-30 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1994-03-23 ：
专利权有效期的续展(依据修改前的专利法第45条)
1990-04-18 ：
授权
1989-08-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
