一种多弧离子镀膜机
授权
摘要
本实用新型涉及一种多弧离子镀膜机,包括真空腔;真空腔固定设置在底座上设置的减震垫上;真空腔底部设有抽拉槽,抽拉槽内滑动设有可以更换的抽拉板;真空腔内部设有旋转轴,旋转轴上径向设有支撑杆,支撑杆的两端设有第一加热器,支撑杆上设有防止镀膜覆盖在加热器上的挡板;真空腔腔壁上设有第二加热器。原本掉落于真空腔底部的原子团或离子会掉落在可以更换的抽拉板上,避免发生落于真空腔底部的原子团或离子难以清除的问题;设置挡板来保护第一加热器不受原子团或离子的覆盖,保证真空腔的温度不受影响,并于真空腔的内壁上设置了第二加热器;以弥补由于挡板的存在导致的真空腔腔壁温度降低的缺陷。
基本信息
专利标题 :
一种多弧离子镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122981182.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
CN216473454U
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
汪纪彬
申请人 :
郑州成越科学仪器有限公司
申请人地址 :
河南省郑州市高新区翠竹街6号9幢1单元8层820号
代理机构 :
郑州汇诚众远专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘存波
优先权 :
CN202122981182.3
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-05-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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