微位移爬行器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本实用新型公开一种改进的采用压电陶瓷的微位移爬行器，用于光学显微镜、电子显微镜和扫描隧道电子显微镜等样品架的微量位移，其爬行步长为每步几百纳米。采用P51压电陶瓷；两个吸定脚是下表面具有SiO2绝缘层的硅片；基面用大硅片制得，其上表面也是SiO2绝缘层，其下表面加以金属化；用导电胶将二个吸定脚粘在压电陶瓷伸缩部分上。本实用新型制作简单，爬行可靠。
基本信息
专利标题 ：
微位移爬行器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN89208274.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1989-06-01
授权号 ：
CN2071346U
授权日 ：
1991-02-13
发明人 ：
宋建平
申请人 ：
西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市咸宁路28号
代理机构 ：
西安交通大学专利事务所
代理人 ：
徐文权
优先权 ：
CN89208274.7
主分类号 ：
G02B21/34
IPC分类号 ：
G02B21/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
G02B21/34
显微镜载物片，例如，在载物片上安装试样
法律状态
1993-04-21 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-10-23 ：
授权
1991-02-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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