离子剥离溅射仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本实用新型公开了一种制备扫描电镜观测样品，特别是生物样品微结构的具有离子剥离、溅射镀膜、离子刻蚀和离子清洗功能的离子剥离溅射仪，属于电离技术。特征是，在一个密闭的真空罩内，样品台做成固定式的，附近有冷却源及防护用的散热片，靶电极做成活动式的，借助于升降机构，可方便地调整靶—一样距离，其工作电压可在1400-8000V范围内连续调节，既减轻了热辐射对样品的损伤，又扩大了现有技术使用范围。
基本信息
专利标题 ：
离子剥离溅射仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN90207607.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1990-05-24
授权号 ：
CN2068235U
授权日 ：
1990-12-26
发明人 ：
兰盛银徐珍秀童小龙
申请人 ：
华中农业大学
申请人地址 ：
430070湖北省武汉市洪山区狮子山
代理机构 ：
农牧渔业部专利事务所
代理人 ：
张红兵
优先权 ：
CN90207607.8
主分类号 ：
G01N1/28
IPC分类号 ：
G01N1/28 H01J37/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
法律状态
1994-04-13 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-08-21 ：
授权
1990-12-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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