电容式有机膜湿度传感器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种可用于定量测量和控制湿度的电容式有机膜湿度传感器包括有上、下电极，硅片，二氧化硅层，用聚酰亚胺高分子有机膜作介质的感湿膜。特征在于它采用了硅片本身作为下电极，其上是二氧化硅层，在此上面是感湿膜，感湿膜上是用金属铝层制作的上电极。该湿度传感器除具有与现湿度传感器(如图1所示)良好的重复性、稳定性等技术性能和技术参数外，还具有可靠性高、一致性高、成本低，生产成品率可达到80％等一系列优良的技术特性。
基本信息
专利标题 ：
电容式有机膜湿度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN90224139.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1990-11-27
授权号 ：
CN2080670U
授权日 ：
1991-07-10
发明人 ：
邹德恕王东风高国
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
100022北京市东郊九龙山
代理机构 ：
北京工业大学专利代理事务所
代理人 ：
张慧
优先权 ：
CN90224139.7
主分类号 ：
G01N27/22
IPC分类号 ：
G01N27/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
1995-01-18 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-02-05 ：
授权
1991-07-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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