用隧道效应原理测量微位移的方法
专利申请的视为撤回
摘要
本发明公开了一种利用隧道效应原理，测量物体的微位移或微形变的方法。其特征是测量系统由被测样品、测量针尖、压电陶瓷、电压表、偏压电源、放大器等组成负反馈闭环测量系统。分辨率可达0.1—1nm。
基本信息
专利标题 ：
用隧道效应原理测量微位移的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1071249A
申请号 ：
CN92109735.2
公开（公告）日 ：
1993-04-21
申请日 ：
1992-09-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李银祥
申请人 ：
武汉工业大学
申请人地址 ：
430070湖北省武昌市珞狮路14号
代理机构 ：
湖北省专利事务所
代理人 ：
周于德
优先权 ：
CN92109735.2
主分类号 ：
G01B7/02
IPC分类号 ：
G01B7/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1996-11-27 ：
专利申请的视为撤回
1993-04-21 ：
公开
1993-03-31 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1071249A.PDF
PDF下载
