球冠形栅网参数测量方法及测量仪
公开
摘要
一种球冠形栅网参数测量方法及测量仪，属光学测量仪器，该测量方法可测量球冠形栅网的参数及网间距离，采用光学物镜对双(多)栅网多次调焦，记录每次成象清晰后的物镜位置数值，两个位置数值之差即为该两个栅网之间的间距。本栅网参数测量仪由精密机械系统、光学系统、步进电机及其驱动系统、光栅定位测量系统、信号获取系统五部分组成。通过计算机软件处理可以自动调焦并打印输出测得的栅网参数值，本栅网参数测量仪测得的精度高，可以提高行波管的性能。
基本信息
专利标题 ：
球冠形栅网参数测量方法及测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1080394A
申请号 ：
CN93105072.3
公开（公告）日 ：
1994-01-05
申请日 ：
1993-05-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李庆祥薛实福李志徐敏娴于水
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
100084北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
章瑞溥
优先权 ：
CN93105072.3
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1994-01-05 ：
公开
1993-11-10 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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