高分辨率鉴相式容栅位移传感器及其制作方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明属于鉴相式容栅位移传感技术，鉴相式容栅位移传感器具有集成度度、价格低廉、功耗小等特点，但由于付栅输出栅条排列设计，基材选用等问题，使得此种位移传感技术未能应用到较高分辨率和精度的产品上。本发明的特点是：采用分布式排列方法排列栅条，和选玻璃或陶瓷为基片，并运用集电路制作中多层布线工艺，使得鉴相式容栅传感器的分辨率能提1～2个数量级，并且精度和稳定性也相应得到提高。
基本信息
专利标题 ：
高分辨率鉴相式容栅位移传感器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1101974A
申请号 ：
CN93118916.0
公开（公告）日 ：
1995-04-26
申请日 ：
1993-10-17
授权号 ：
CN1047436C
授权日 ：
1999-12-15
发明人 ：
赵飚
申请人 ：
赵飚
申请人地址 ：
541004广西壮族自治区桂林市会仙小区2栋东单元1－2号
代理机构 ：
广西壮族自治区专利服务中心
代理人 ：
来光业
优先权 ：
CN93118916.0
主分类号 ：
G01B7/02
IPC分类号 ：
G01B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2002-12-11 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1999-12-15 ：
授权
1997-08-06 ：
实质审查请求的生效
1997-04-30 ：
实质审查请求的生效
1995-04-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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