微型机械继电器有一个由衔铁基体（５２）腐蚀出来的舌簧状衔铁（５３），此衔铁（５３）与衔铁基体弹性连接，它与一个在它下面的基座（５１）的基座电极（５８）构成了一种静电驱动。此外，在衔铁（５３）上设有压电层（６０），它起弯曲变换器的作用，并构成一种附加的驱动。当在衔铁（５３）的电极、基座（５１）的电极和压电层（６０）的电极上施加一个电压时，衔铁被吸在此基座上，并因而在至少一个触头（５５、５６）闭合的情况下，衔铁大面积地贴靠在此基座上。此时，静电驱动和压电驱动的不同特性线叠加在一起，所以，既能在衔铁运动开始时产生一个大的吸引力，又能在衔铁吸住后产生一个大的接触力。