用于扩散法制图的组合物
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种用于扩散制图方法中第一非制图层中的组合物，包括结晶度小于50％、形成膜的酸不稳定性固体聚合物；和酸不稳定聚合物形成固体两相系统的增塑剂；在大气压下加热至120℃或更低温度下能从第一非制图层除去的挥发有机溶剂；聚合物与增塑剂的比率是这样的，即当将挥发有机溶剂从有机介质中除去时，所得的无溶剂的聚合物/增塑剂分散物是镜面不反射的。所述的组合物能以快速、对环境安全的方法制成高分辨率的图像。#!
基本信息
专利标题 ：
用于扩散法制图的组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1148188A
申请号 ：
CN96108269.0
公开（公告）日 ：
1997-04-23
申请日 ：
1992-11-06
授权号 ：
CN1085889C
授权日 ：
2002-05-29
发明人 ：
约翰·詹姆斯·法尔顿瓦尔特·雷蒙德·黑特勒马叔华
申请人 ：
E.I.内穆尔杜邦公司
申请人地址 ：
美国特拉华州
代理机构 ：
上海专利商标事务所
代理人 ：
陈文青
优先权 ：
CN96108269.0
主分类号 ：
H01L21/77
IPC分类号 ：
H01L21/77 H01L27/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/77
在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理
法律状态
2011-03-16 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101056290737
IPC(主分类) : H01L 21/77
专利号 : ZL961082690
申请日 : 19921106
授权公告日 : 20020529
终止日期 : 20091207
号牌文件序号 : 101056290737
IPC(主分类) : H01L 21/77
专利号 : ZL961082690
申请日 : 19921106
授权公告日 : 20020529
终止日期 : 20091207
2002-05-29 ：
授权
1997-04-23 ：
公开
1997-04-02 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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