用于减少非随机噪声效应的测量系统和方法
专利权的终止
摘要
本发明揭示了用于减少非随机噪声效应的测量系统和方法，包括，一种系统包括适用于存储至少一个中间图像的存储单元，和处理器，其被连接至该存储单元且适用于(i)确定在中间图像内的感兴趣区域之间和在至少一个参考图像内的相应感兴趣区域之间的空间关系，及(ii)产生图像以响应空间关系和多个中间图像的内容。该中间图像可包含多个中间图像部分和多个感兴趣的区域。
基本信息
专利标题 ：
用于减少非随机噪声效应的测量系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1837745A
申请号 ：
CN200510003486.5
公开（公告）日 ：
2006-09-27
申请日 ：
2005-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
B·森德A·丹O·梅纳德瓦S·莱汀斯基R·达瑞
申请人 ：
应用材料以色列公司
申请人地址 ：
以色列瑞哈佛特市
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
李玲
优先权 ：
CN200510003486.5
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01R31/28 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2013-12-04 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101547531869
IPC(主分类) : G01B 11/02
专利号 : ZL2005100034865
申请日 : 20051008
授权公告日 : 20100526
终止日期 : 20121008
号牌文件序号 : 101547531869
IPC(主分类) : G01B 11/02
专利号 : ZL2005100034865
申请日 : 20051008
授权公告日 : 20100526
终止日期 : 20121008
2010-05-26 ：
授权
2007-11-21 ：
实质审查的生效
2006-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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