基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置。包括激光器的激光依次经准直透镜、光阑、被测物体反射后至聚焦透镜后接线阵型电荷耦合器件，经线阵型电荷耦合器件的输出端口与实时信号处理电路的输入端口相连。它采用平行光斜射式激光三角法、非CPU结构的实时信号处理电路和高速线阵型CCD。本发明具有结构简单，线性度好，灵敏度高，测量频率高，分辨率高和实时性好等特点，可应用于高频电―机械转换器等元件的微小角位移的静动态特性的在线或离线检测。

基本信息

专利标题：

基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1743800A

申请号：

CN200510061072.8

公开（公告）日：

2006-03-08

申请日：

2005-10-12

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

丁凡方平李勇李其朋

申请人：

浙江大学

申请人地址：

310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司

代理人：

林怀禹

优先权：

CN200510061072.8

主分类号：

G01B11/26

IPC分类号：

G01B11/26