本发明涉及一种用于大面积平面光波回路以及平面集成类的光无源器件和各种波导控温方法及控温模块。该模块采用多点测温以及多块控温电路组成阵列控温的方式，其控温电路部分制作在一块印制电路板上，主要由温差测量放大、比例微分积分控制回路、频率产生电路、脉宽调制电路、电流输出这五个部分组成，针对平面光波导等大尺寸光无源器件需要控温面积大、控温精度高、控温速率快、工作温度范围大、耗散功率小等特点对电路进行了优化设计。并在此基础上设计了一个控温模块，该模块体积小且有良好的散热导热效果。