具有衍射透镜的图像传感器及其制造方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明公开了一种包括衍射透镜的图像传感器，其简化了制造工艺，并使光损失最小化。该图像传感器包括衍射透镜，作为滤色器部分与光电二极管之间的内部透镜，用于补偿对接收到的光的灵敏度。一种用于制造图像传感器的方法，其包括以下步骤：形成衍射透镜，作为滤色器部分与光电二极管之间的内部透镜，用于补偿对接收到的光的灵敏度。所述衍射透镜的形成包括以下步骤：形成平坦化层，其设置于透射在光电二极管处接收的光的光透射层之上，用于在其之上形成层；用光刻胶涂覆平坦化层，并利用光刻胶形成衍射图样；以及蚀刻用于形成衍射透镜的衍射图样。

基本信息

专利标题：

具有衍射透镜的图像传感器及其制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1822378A

申请号：

CN200510097485.1

公开（公告）日：

2006-08-23

申请日：

2005-12-28

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

郑善旭

申请人：

东部亚南半导体株式会社

申请人地址：

韩国首尔

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

余刚

优先权：

CN200510097485.1

主分类号：

H01L27/146

IPC分类号：

H01L27/146 H01L21/82 H01L31/0232 H01L31/18