用于光学机械检查的转换机构
授权
摘要
本发明公开了一种用于相对于待检查物体移动光学机械检查系统的光学元件的装置，其使用线性驱动机构，该机构包含有安装在磁场中的线圈，该磁场由磁性组件产生。一转换平台和所述的线圈和磁性组件中的一个相连，藉此该转换平台被配置来相对于所述的线圈和磁性组件中的另一个移动，该转换平台的移动被设置来沿着一平面，该平面基本垂直于入射光线的方向。该入射光线由一光源通过该光学元件投射到该物体上。
基本信息
专利标题 ：
用于光学机械检查的转换机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1758019A
申请号 ：
CN200510105980.2
公开（公告）日 ：
2006-04-12
申请日 ：
2005-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高内加阿吉特湋多森盖瑞彼得
申请人 ：
先进科技新加坡有限公司
申请人地址 ：
新加坡新加坡2义顺7道
代理机构 ：
北京申翔知识产权代理有限公司
代理人 ：
周春发
优先权 ：
CN200510105980.2
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2010-05-05 ：
授权
2006-06-07 ：
实质审查的生效
2006-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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