光学部件的检查方法以及检查装置

专利权的终止

摘要

提供一种能够高精度地评价光学部件的性能的检查方法。检查方法中，根据透射光学部件(18)的光(16)，形成具有不同相位的第1和第2光(24)、(26)，使第1和第2光产生干涉形成干涉区域(30)。在干涉区域(30)，设定直线(66)、直线(70)、直线(72)，求出各直线(72)上的光强度的分布。而且，求出与最大的光强度对应的频率。进而，根据针对直线(72)各自所求出的多个频率，求出近似直线或者近似曲线。并且，基于近似的直线或者曲线的系数评价光学部件的像差。

基本信息

专利标题：

光学部件的检查方法以及检查装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1800803A

申请号：

CN200610005790.8

公开（公告）日：

2006-07-12

申请日：

2006-01-06

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

高田和政宇津吕英俊古田宽和浦岛毅吏

申请人：

松下电器产业株式会社

申请人地址：

日本大阪府

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

优先权：

CN200610005790.8

主分类号：

G01M11/02

IPC分类号：

G01M11/02

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01M

机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试

G01M11/02

•光学性质测试

法律状态

2016-03-02 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101648904790
IPC(主分类) : G01M 11/02
专利号 : ZL2006100057908
申请日 : 20060106
授权公告日 : 20100512
终止日期 : 20150106

2010-05-12 ：

授权

2006-09-06 ：

实质审查的生效

2006-07-12 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载