印刷线路板光学检查方法和光学检查设备
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明涉及印刷线路板光学检查方法和光学检查设备。在本发明的检查方法中，涂料涂覆辊子(13)利用用于图案检测的涂料R1涂覆作为被放置在台(11)上的要被检查的印刷线路板(12)的要被检查的图案表面上形成的、要被检查的图案P1，P2，...，Pn之一、并具有等于或大于参考图案厚度的厚度的每个图案(铜箔表面)。光学扫描器(15)然后通过光学扫描要被检查的图案表面而得到该图案表面的图像数据。检查设备(17)通过对于被形成在要被检查的图案表面上的图案P1，P2，...，Pn执行图像检测而检测由于从图案上方形成的凹陷和缺痕产生的缺陷的图案。
基本信息
专利标题 ：
印刷线路板光学检查方法和光学检查设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1892203A
申请号 ：
CN200610008608.4
公开（公告）日 ：
2007-01-10
申请日 ：
2006-02-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
长谷川健治
申请人 ：
株式会社东芝
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
李春晖
优先权 ：
CN200610008608.4
主分类号 ：
G01N21/956
IPC分类号 ：
G01N21/956 H05K3/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/956
检测物品表面上的图案
法律状态
2009-11-04 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-03-07 ：
实质审查的生效
2007-01-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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