减压干燥装置及减压干燥方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明目的在于提供不发生突沸而能迅速地干燥形成于基板的主面的薄膜的减压干燥装置以及减压干燥方法。使支承销(21)与支持板(22)一起上升，在减小了基板W的主面与腔室(10)的上面(14)之间的距离的状态下，以少量的排气量，进行排气之后，使支承销(21)与支持板(22)一起下降，在增大了基板W的主面与腔室(10)的上面(14)之间的距离的状态下，以多量的排气量进行排气。
基本信息
专利标题 ：
减压干燥装置及减压干燥方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1758142A
申请号 ：
CN200510107678.0
公开（公告）日 ：
2006-04-12
申请日 ：
2005-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
柿村崇
申请人 ：
大日本网目版制造株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
高龙鑫
优先权 ：
CN200510107678.0
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16 G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2009-11-04 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-06-07 ：
实质审查的生效
2006-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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