利用熔丝测试栅极氧化物的方法与装置

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种用于测试电介质层的装置与方法。该装置包括第一导电板和第二导电板。第一导电板和第二导电板直接与电介质层接触。此外，该装置包括第一导电导线和第二导电导线，第一导电导线连接到第一导电板并被偏置到第一预定电压，第二导电导线连接到第二导电板和电压检测器。而且，该装置包括熔丝和第三导电导线，熔丝连接到第二导电导线，第三导电导线连接到熔丝和能提供第二预定电压并能测量电流的器件。

基本信息

专利标题：

利用熔丝测试栅极氧化物的方法与装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1959403A

申请号：

CN200510110070.3

公开（公告）日：

2007-05-09

申请日：

2005-11-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

龚斌

申请人：

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

王怡

优先权：

CN200510110070.3

主分类号：

G01N27/92

IPC分类号：

G01N27/92 G01R31/00

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01N

借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N27/9093

用于支撑传感器的装置；涡流传感器和用于标记或剔除的辅助装置的组合

G01N27/92

通过测试击穿电压

法律状态

2019-10-25 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01N 27/92
申请日 : 20051102
授权公告日 : 20090211
终止日期 : 20181102

2012-01-04 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101260313358
IPC(主分类) : G01N 27/92
专利号 : ZL2005101100703
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
登记生效日 : 20111129

2009-02-11 ：

授权

2007-07-11 ：

实质审查的生效

2007-05-09 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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