带有井伸电极的碲镉汞红外光电导探测器
专利权的终止
摘要

本发明公开了一种带有井伸电极的碲镉汞红外光电导探测器,该器件的特征是:在光敏元的二侧各有一个通过离子刻蚀至衬底的圆洞,圆洞内依次镀有铬金属层和黄金层,其总高度与光敏元的高度齐平。在黄金层上再依次镀上铟金属层和黄金层,该铟金属层和黄金层的尺寸要超过圆洞面积,部分覆盖至光敏元的边缘,以便取出光敏元的光电信号。本发明的优点是:井伸电极不存在台阶和坡度,因此也就不存在台阶和坡度连接处发生金属膜翘起和龟裂。井伸电极特别适合于各种面积的红外探测器芯片制造,它可以成型单元、多元,也可以成型线列、面列。井伸电极完全解决了集成化常规延伸电极不能在面列上进行的难题。信号引线焊接可实行机械化操作,提高了产品的可靠性。

基本信息
专利标题 :
带有井伸电极的碲镉汞红外光电导探测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1812137A
申请号 :
CN200510111360.X
公开(公告)日 :
2006-08-02
申请日 :
2005-12-09
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
朱龙源王平刘诗嘉陈江峰靳秀芳龚海梅李向阳
申请人 :
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 :
200083上海市玉田路500号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
郭英
优先权 :
CN200510111360.X
主分类号 :
H01L31/08
IPC分类号 :
H01L31/08  H01L31/0224  
法律状态
2014-02-05 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101567528714
IPC(主分类) : H01L 31/08
专利号 : ZL200510111360X
申请日 : 20051209
授权公告日 : 20081008
终止日期 : 20121209
2008-10-08 :
授权
2006-09-27 :
实质审查的生效
2006-08-02 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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