一种预测微结构力学特性的方法
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种预测微结构力学特性的方法，其包括以下步骤：(1)制作出一系列版图尺寸不同的检测结构；(2)根据实验得到的这些检测结构的力学特性；(3)由检测结构的版图尺寸和力学特性，反算出修正参数；(4)根据所设计的MEMS结构的版图尺寸，选用相应的版图尺寸的结构所对应的材料修正参数，预测MEMS结构的力学特性。当需要预测采用ICP刻蚀释放的体硅梁的刚度时，可以采用折梁支承的平行板电容器作为检测结构，通过测量其侧向吸合电压得到不同版图宽度和不同间距的体硅梁的修正弯曲刚度或修正弹性模量，用于预测不同版图尺寸的体硅梁的刚度。验证实验表明，对于宽梁、窄梁和中等宽度的体硅梁，本发明提出的新方法都可以准确预测其刚度。
基本信息
专利标题 ：
一种预测微结构力学特性的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1785794A
申请号 ：
CN200510117340.3
公开（公告）日 ：
2006-06-14
申请日 ：
2005-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
贺学锋张大成方竞熊春阳李婷杨芳田大宇
申请人 ：
北京大学
申请人地址 ：
100871北京市海淀区北京大学力学系
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐宁
优先权 ：
CN200510117340.3
主分类号 ：
B81B3/00
IPC分类号 ：
B81B3/00 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B3/00
由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成
法律状态
2012-12-26 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101372517721
IPC(主分类) : B81B 3/00
专利号 : ZL2005101173403
申请日 : 20051102
授权公告日 : 20090107
终止日期 : 20111102
号牌文件序号 : 101372517721
IPC(主分类) : B81B 3/00
专利号 : ZL2005101173403
申请日 : 20051102
授权公告日 : 20090107
终止日期 : 20111102
2009-01-07 ：
授权
2006-08-09 ：
实质审查的生效
2006-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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