等离子显示面板的电极形成方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
通过使从层叠膜的最上层算起的1个下层的金属膜的成分扩散到最上层的金属膜中，可稳定地且有效地刻蚀最上层的金属膜。在玻璃基板上至少形成了第2金属膜后，在其上形成第1金属膜，在用刻蚀液刻蚀已被层叠的金属膜以形成层叠膜的电极时，作为第1金属和第2金属，使用具有在将第1金属和第2金属浸于第1金属的刻蚀液中的状态下若使其短路则第1金属的表面电位下降的性质的金属。然后，实施在第1金属膜的形成中或形成后将气氛温度保持为第2金属膜的金属原子扩散到第1金属膜的膜中和膜表面上那样的温度的扩散工序。
基本信息
专利标题 ：
等离子显示面板的电极形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1773651A
申请号 ：
CN200510118680.8
公开（公告）日 ：
2006-05-17
申请日 ：
2005-11-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
铃木和雄柳原直人石原安彦川北哲郎荣福秀马
申请人 ：
富士通日立等离子显示器股份有限公司
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
王以平
优先权 ：
CN200510118680.8
主分类号 ：
H01J9/02
IPC分类号 ：
H01J9/02 H01J11/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J9/00
专用于制造放电管、放电灯及其部件的设备和方法；从放电管或灯回收材料
H01J9/02
电极或电极系统的制造
法律状态
2010-01-27 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-07-12 ：
实质审查的生效
2006-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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