微机电系统电极形成方法
实质审查的生效
摘要
本发明的微电机系统(MEMS)电容传声器包括：基底基板；隔膜，所述隔膜位于所述基底基板上；背板部，所述背板部位于所述隔膜上；防止变形部，所述防止变形部位于所述背板部上；空气层，所述空气层位于所述隔膜与所述背板部之间；及多个凸起，所述多个凸起从所述背板部向所述隔膜侧在空气层中凸出。
基本信息
专利标题 ：
微机电系统电极形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114390418A
申请号 ：
CN202011124997.3
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李埈硕姜永振
申请人 ：
达菲感测有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道城南市中原区沙器幕路124工艺洞1305
代理机构 ：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郑青松
优先权 ：
CN202011124997.3
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 19/04
申请日 : 20201020
申请日 : 20201020
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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