真空系统及其预警方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提出一种真空系统，其适于一半导体工艺。此真空系统包括多个机台、多个感测器以及一预警与控制单元。这些感测器分别配设于这些机台，以进行感测并输出多个感测值。预警与控制单元是与这些机台和这些感测器电性相连，用以接收来自这些感测器的这些感测值。其中，当一第一条件成立时，预警与控制单元发出一预警信号，而当一第二条件成立时，预警与控制单元发出一终止信号。
基本信息
专利标题 ：
真空系统及其预警方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1959930A
申请号 ：
CN200510119317.8
公开（公告）日 ：
2007-05-09
申请日 ：
2005-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐弘滉
申请人 ：
联华电子股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省新竹科学工业园区
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陶凤波
优先权 ：
CN200510119317.8
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2008-12-10 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-07-04 ：
实质审查的生效
2007-05-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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