一种供气均匀性可调的进气喷嘴

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明涉及供气均匀性可调的进气喷嘴，包括内芯和套装在内芯外的外套，所述内芯的中心具有中心出气通孔，其侧面开有第一进气孔，所述外套的中心开有通孔，该通孔与内芯的外壁之间具有间隙，形成边缘出气通道，该边缘出气通道的出气口为喇叭口形或锥形的圆环，外套的侧面开有第二进气孔，所述第一进气孔和第二进气孔与工艺气体的比例调节阀联接。该喷嘴采用中心区域和边缘区域双区道供气，使晶片表面发生的化学反应速度差异较小，速率均匀，可提高晶片的质量，有效且经济的制造、安装和维修。并且该喷嘴结构简单，便于加工制造。

基本信息

专利标题：

一种供气均匀性可调的进气喷嘴

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1850347A

申请号：

CN200510126290.5

公开（公告）日：

2006-10-25

申请日：

2005-12-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

胡谦

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

司君智

优先权：

CN200510126290.5

主分类号：

B05B1/14

IPC分类号：

B05B1/14 C23C16/513 C23F4/04 H01L21/02