进气喷嘴

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本发明涉及一种气体喷嘴。本发明进气喷嘴包括具有中央进气孔的喷嘴本体，其中所述喷嘴本体的下端部设有与中央进气孔连通的中心孔和呈放射状均匀分布的若干个圆周孔。本发明的进气喷嘴的优点和积极效果在于：当刻蚀气体经过喷嘴本体下端部时，由中心孔和若干个圆周孔对气体进行了分流，由中心孔进入反应室内的气体直接喷向反应室底壁中央位置，而由圆周孔进入反应室内的气体趋于沿着窗体内表面向四周扩散，从而减少了直接撞击反应腔室底壁的气体量，使反应腔室内中央部分的气体密度与四周部分的气体密度趋于相同，大幅度提高了反应腔室内气体的均匀性。

基本信息

专利标题：

进气喷嘴

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1850349A

申请号：

CN200510126347.1

公开（公告）日：

2006-10-25

申请日：

2005-12-07

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

管长乐

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

王常风

优先权：

CN200510126347.1

主分类号：

B05B1/14

IPC分类号：

B05B1/14 C23C16/513 C23F4/04 H01L21/02