单进气双区可调喷嘴
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本发明涉及单进气双区可调喷嘴,包括主体。所述主体由紧固件及密封圈安装在介质窗体上,其内部设置由调节堵头,其下表面有垂直向下的通孔,侧壁上具有分布在圆周上、往下倾斜的、由下往上依次排列的通孔。该单进气双区可调喷嘴通过调节调节堵头在喷嘴主体内的不同位置,改变内外环喷气口的面积实现双区可调功能,从而调节双区进气流量比例,满足十二英寸晶片刻蚀技术要求,同时相对于一般需要比例阀或者质量流量控制器的双区喷嘴降低了成本。

基本信息
专利标题 :
单进气双区可调喷嘴
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1846871A
申请号 :
CN200510126442.1
公开(公告)日 :
2006-10-18
申请日 :
2005-12-09
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵梦欣
申请人 :
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 :
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
王常风
优先权 :
CN200510126442.1
主分类号 :
B05B1/14
IPC分类号 :
B05B1/14  C23C16/54  C23F4/00  H01L21/3065  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B1/12
•能产生不同种类的排射,如喷流或喷雾
B05B1/14
有多个出口孔;在出口孔内或出口孔外装有过滤器
法律状态
2018-08-14 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B05B 1/14
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2008-10-01 :
授权
2006-12-13 :
实质审查的生效
2006-10-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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