加速度传感器的结构及其制造方法

专利权的终止

摘要

本发明提供一种特别是在利用微细加工处理制造的加速度传感器中可容易调节灵敏度、且关于所形成的加速度传感器的形成不良可容易地进行良否判定的加速度传感器及其制造方法。本发明提供一种加速度传感器，其具有台座部、与台座部连接的梁部、和与梁部连接的重锤部，其特征在于，在梁部的正下方具有支承梁部的突起部。进而，提供一种加速度传感器，其特征在于，突起部具有支承梁部的第一突起部分和邻接于第一突起部分的第二突起部分。

基本信息

专利标题：

加速度传感器的结构及其制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1793938A

申请号：

CN200510128528.8

公开（公告）日：

2006-06-28

申请日：

2005-11-30

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

甲斐孝之

申请人：

冲电气工业株式会社

申请人地址：

日本东京港区

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏

优先权：

CN200510128528.8

主分类号：

G01P15/12

IPC分类号：

G01P15/12

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01P

线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）

G01P15/00

测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变

G01P15/02

利用惯性力

G01P15/08

用变换成电或磁量

G01P15/12

应用电阻值的改变

法律状态

2018-01-23 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01P 15/12
申请日 : 20051130
授权公告日 : 20120425
终止日期 : 20161130

2013-12-25 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101683270051
IPC(主分类) : G01P 15/12
专利号 : ZL2005101285288
变更事项 : 专利权人
变更前 : 拉碧斯半导体株式会社
变更后 : 拉碧斯半导体株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本东京都
变更后 : 日本神奈川县横滨市

2013-12-18 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101679261376
IPC(主分类) : G01P 15/12
专利号 : ZL2005101285288
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 冲电气工业株式会社
变更后权利人 : 拉碧斯半导体株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本东京港区
变更后权利人 : 日本东京都
登记生效日 : 20131122

2012-04-25 ：

授权

2008-01-16 ：

实质审查的生效

2006-06-28 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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