阳极接合装置、阳极接合方法和加速度传感器的制造方法
专利权的终止
摘要
在使对置地配置的二个电极板之间配置的多个基板良好地接合的阳极接合装置中，提供能良好地进行阳极接合的阳极接合装置，不会由于对基板施加过大的应力而使接合面翘曲为凸状。本发明的阳极接合装置具有配置成第1电极板与第2电极板对置的一对电极，其特征在于：安装有层叠基板的第1电极板和在与第1电极板对置的同时具有中央部朝向层叠基板弯曲的弯曲部的第2电极板。
基本信息
专利标题 ：
阳极接合装置、阳极接合方法和加速度传感器的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1845302A
申请号 ：
CN200610008644.0
公开（公告）日 ：
2006-10-11
申请日 ：
2006-02-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
末吉真一
申请人 ：
冲电气工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
王以平
优先权 ：
CN200610008644.0
主分类号 ：
H01L21/02
IPC分类号 ：
H01L21/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
法律状态
2018-03-13 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/02
申请日 : 20060220
授权公告日 : 20090909
终止日期 : 20170220
申请日 : 20060220
授权公告日 : 20090909
终止日期 : 20170220
2013-12-25 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101683453749
IPC(主分类) : H01L 21/02
专利号 : ZL2006100086440
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 冲电气工业株式会社
变更后权利人 : OKI半导体株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本东京
变更后权利人 : 日本东京
登记生效日 : 20131210
号牌文件序号 : 101683453749
IPC(主分类) : H01L 21/02
专利号 : ZL2006100086440
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 冲电气工业株式会社
变更后权利人 : OKI半导体株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本东京
变更后权利人 : 日本东京
登记生效日 : 20131210
2013-12-25 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101683453750
IPC(主分类) : H01L 21/02
专利号 : ZL2006100086440
变更事项 : 专利权人
变更前 : OKI半导体株式会社
变更后 : 拉碧斯半导体株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本东京
变更后 : 日本东京
号牌文件序号 : 101683453750
IPC(主分类) : H01L 21/02
专利号 : ZL2006100086440
变更事项 : 专利权人
变更前 : OKI半导体株式会社
变更后 : 拉碧斯半导体株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本东京
变更后 : 日本东京
2013-12-25 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101683453751
IPC(主分类) : H01L 21/02
专利号 : ZL2006100086440
变更事项 : 专利权人
变更前 : 拉碧斯半导体株式会社
变更后 : 拉碧斯半导体株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本东京
变更后 : 日本横滨
号牌文件序号 : 101683453751
IPC(主分类) : H01L 21/02
专利号 : ZL2006100086440
变更事项 : 专利权人
变更前 : 拉碧斯半导体株式会社
变更后 : 拉碧斯半导体株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本东京
变更后 : 日本横滨
2009-09-09 ：
授权
2008-06-04 ：
实质审查的生效
2006-10-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
