减压干燥装置
专利权的终止
摘要
本发明的目的在于提供一种能够防止光致抗蚀剂等薄膜的成分附着在排气泵中的减压干燥装置。该减压干燥装置具备覆盖基板(W)的周围的腔室(10)、排气泵(50)、第一开闭阀(41)、第二开闭阀(42)、第三开闭阀(43)。通过打开第一开闭阀(41)对腔室内(10)进行排气，对形成在基板(W)的主面上的光致抗蚀剂进行减压干燥后，关闭第一开闭阀(41)而停止前述腔室(10)的排气。接着，通过打开第二开闭阀(42)向排气泵(50)供给惰性气体的同时，打开第三开闭阀(43)而向前述腔室(10)内供给惰性气体。
基本信息
专利标题 ：
减压干燥装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1834791A
申请号 ：
CN200510129603.2
公开（公告）日 ：
2006-09-20
申请日 ：
2005-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
柿村崇北村嘉孝
申请人 ：
大日本网目版制造株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
高龙鑫
优先权 ：
CN200510129603.2
主分类号 ：
G03F7/38
IPC分类号 ：
G03F7/38 G03F7/26 G03F7/20 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/38
去除影像之前的处理，例如，预烘干
法律状态
2012-02-29 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101192127648
IPC(主分类) : G03F 7/38
专利号 : ZL2005101296032
申请日 : 20051216
授权公告日 : 20090923
终止日期 : 20101216
号牌文件序号 : 101192127648
IPC(主分类) : G03F 7/38
专利号 : ZL2005101296032
申请日 : 20051216
授权公告日 : 20090923
终止日期 : 20101216
2009-09-23 ：
授权
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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