角速度测量传感器
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摘要

一种用于测量角速度的传感器,其通过以所述角速度旋转的单个压电音叉(21)形成。音叉包括从底座(22)延伸的两个振动腿(23,24),用于激励音叉第一振动并被设置在激励腿(23)上的装置(25a、25b、26a、26b),以及用于检测响应第一振动和音叉旋转而产生的音叉第二振动、并被设置在检测腿(24)上的装置(27a、27b、28a、28b)。检测腿具有包括两个上侧面(33,34)和两个下侧面(37,38)的十字形截面,其被相对于所述面伸出的突出部分(41,42)分开。检测装置包括相对于彼此设置的第一检测电极(27a)和第二检测电极(28a),每个被设置在上侧面(33,34)之一上,使得在第一和第二检测电极之间的电场基本直线地通过检测腿,还包括相对于彼此设置的第三检测电极(27b)和第四检测电极(28b),每个被设置在下侧面(37,38)之一上,使得在第三和第四检测电极之间的电场基本直线地通过检测腿。

基本信息
专利标题 :
角速度测量传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1793934A
申请号 :
CN200510132671.4
公开(公告)日 :
2006-06-28
申请日 :
2005-12-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
S·达拉·皮亚扎B·施图德
申请人 :
ETA瑞士钟表制造股份有限公司
申请人地址 :
瑞士格伦兴
代理机构 :
北京市中咨律师事务所
代理人 :
杨晓光
优先权 :
CN200510132671.4
主分类号 :
G01P9/04
IPC分类号 :
G01P9/04  G01C19/56  
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法律状态
2010-02-03 :
授权
2007-09-19 :
实质审查的生效
2006-06-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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