振荡微机械角速度传感器

专利申请权、专利权的转移

摘要

本发明涉及用于测量角速度的测量装置，并且更具体涉及振荡微机械角速度传感器。在根据本发明的角速度传感器中，关联测震质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的边缘提供至少一对电极，该电极对与质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的表面一起形成两个电容，使得该电极对的一个电容以质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的主运动的函数形式增加，而电极对的另一个电容减小。根据本发明的角速度传感器结构能够在紧凑振荡微机械角速度传感器的解决方案中进行可靠且有效的测量。

基本信息

专利标题：

振荡微机械角速度传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101151507A

申请号：

CN200580044862.3

公开（公告）日：

2008-03-26

申请日：

2005-12-30

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

A·布洛姆奎斯特

申请人：

VTI技术有限公司

申请人地址：

芬兰万塔

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

丁建春

优先权：

CN200580044862.3

主分类号：

G01C19/56

IPC分类号：

G01C19/56 G01P9/04 G01P15/125 B81B3/00

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01C

测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学

G01C19/00

陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率

G01C19/56

使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器

法律状态

2021-04-09 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : G01C 19/56
登记生效日 : 20210330
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 穆拉塔电子有限公司
变更后权利人 : 株式会社村田制作所
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 芬兰万塔
变更后权利人 : 日本京都府

2013-01-23 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101499999290
IPC(主分类) : G01C 19/56
专利号 : ZL2005800448623
变更事项 : 专利权人
变更前 : VTI技术有限公司
变更后 : 穆拉塔电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 芬兰万塔
变更后 : 芬兰万塔

2011-04-06 ：

授权

2008-05-21 ：

实质审查的生效

2008-03-26 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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