动热源式z轴微机械角速度传感器
授权
摘要
本申请公开了一种动热源式z轴微机械角速度传感器，该z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和一对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
基本信息
专利标题 ：
动热源式z轴微机械角速度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122867772.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
CN216248023U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
朴林华张严佟嘉程王灯山
申请人 ：
北京信息科技大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清河小营东路12号
代理机构 ：
北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张宇锋
优先权 ：
CN202122867772.3
主分类号 ：
G01P5/08
IPC分类号 ：
G01P5/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P5/00
测量流体的速度，例如空气流；测量物体相对于流体的速度，例如船、航行器的速度
G01P5/08
通过测量受流量直接影响的电变量的变化，例如应用机—电效应的
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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