角速度测量传感器
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摘要
一种测量角速度的传感器,其通过以所述角速度旋转的单个压电音叉(2 1)形成,所述音叉包括从底座(22)伸出的第一振动腿(23)和第二振动腿(24),设置在所述激励腿(23)上的激励装置(25a,25b,26a,26b),设置在所述检测腿(24)上的检测装置(27a,27b,28a,28b),其特征在于,所述检测腿包括至少一个在所述顶面上的第一槽(33,34)和至少一个在所述底面上的第二槽(35,36),所述检测装置包括相对于彼此设置的第一和第二检测电极,所述第一(27a)、第二(28a)检测电极分别被设置在所述槽(33)和槽(34)的一个侧面上,使得所述第一和第二检测电极之间的电场基本上直线地穿过所述检测腿,还包括相对于彼此设置的第三和第四检测电极,所述第三(27b)、第四(28b)检测电极分别被设置在所述槽(36)和槽(35)的一个侧面上,使得所述第三和第四检测电极之间的电场基本上直线地穿过所述检测腿。
基本信息
专利标题 :
角速度测量传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1793935A
申请号 :
CN200510132675.2
公开(公告)日 :
2006-06-28
申请日 :
2005-12-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
S·达拉·皮亚扎B·施图德
申请人 :
ETA瑞士钟表制造股份有限公司
申请人地址 :
瑞士格伦兴
代理机构 :
北京市中咨律师事务所
代理人 :
杨晓光
优先权 :
CN200510132675.2
主分类号 :
G01P9/04
IPC分类号 :
G01P9/04 G01C19/56
相关图片
法律状态
2009-09-09 :
授权
2007-09-19 :
实质审查的生效
2006-06-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN100538366C.PDF
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2、
CN1793935A.PDF
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