振荡微机械角速度传感器
专利申请权、专利权的转移
摘要

本发明涉及在测量角速度中使用的测量装置,并且更具体地,涉及振荡微机械角速度传感器。在根据本发明的角速度传感器中,通过弹簧,或者通过弹簧及刚性辅助结构,使测震质量(1,2,36,37)附接到支撑区域,其给予质量(1,2,36,37)相对于垂直于由质量构成的晶片平面的旋转轴线,并相对于平行于晶片平面的至少一个旋转轴线的自由度。根据本发明的角速度传感器的结构,特别在紧凑型振荡微机械角速度传感器中,其能够进行可靠和有效的测量。

基本信息
专利标题 :
振荡微机械角速度传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101120232A
申请号 :
CN200580044879.9
公开(公告)日 :
2008-02-06
申请日 :
2005-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
A·布洛姆奎斯特
申请人 :
VTI技术有限公司
申请人地址 :
芬兰万塔
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
丁建春
优先权 :
CN200580044879.9
主分类号 :
G01C19/56
IPC分类号 :
G01C19/56  G01P9/04  B81B3/00  G01P15/125  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2021-04-09 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01C 19/56
登记生效日 : 20210330
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 穆拉塔电子有限公司
变更后权利人 : 株式会社村田制作所
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 芬兰万塔
变更后权利人 : 日本京都府
2013-01-23 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101499999292
IPC(主分类) : G01C 19/56
专利号 : ZL2005800448799
变更事项 : 专利权人
变更前 : VTI技术有限公司
变更后 : 穆拉塔电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 芬兰万塔
变更后 : 芬兰万塔
2011-07-06 :
授权
2008-04-02 :
实质审查的生效
2008-02-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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