显影溶液回收处理方法以及显影溶液回收处理装置

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种显影溶液回收处理方法，以将显影溶液中碱化合物控制在一适当浓度，该显影溶液是重复溶洗复数基板上的欲去除的光阻剂，包含：以一计数单元来计数已显影的基板而获得一计数值的计数步骤，及以一控制单元来就计数值，适度调控一含有碱化合物补充液的补充单元的补充步骤；本发明亦请求一显影溶液回收处理装置，包含有一计数单元、一补充单元，及一控制单元；由此装置的运作而可有精确掌控该显影溶液浓度值、降低成本、延缓显影溶液劣化等功效。

基本信息

专利标题：

显影溶液回收处理方法以及显影溶液回收处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1991594A

申请号：

CN200510135206.6

公开（公告）日：

2007-07-04

申请日：

2005-12-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

蔡宏明

申请人：

奇美实业股份有限公司

申请人地址：

台湾省台南县

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汤保平

优先权：

CN200510135206.6

主分类号：

G03F7/32

IPC分类号：

G03F7/32 G03F7/26