碳纳米管集合体及其制造方法
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摘要
本发明提供一种碳纳米管集合体的制造方法，其含有：在基板上形成既定粒径的金属微粒的步骤；使该金属微粒于还原环境气氛中加热至300℃～400℃的既定温度使表面还原的步骤；使该金属微粒于反应炉内加热至既定的反应温度的步骤；将有机化合物蒸气导入至反应炉而在该金属微粒上成长碳纳米管的步骤，其从开始对该金属微粒进行加热后、至碳纳米管开始成长的期间，是使该金属微粒的温度超过450℃的时间为600秒以内。
基本信息
专利标题 ：
碳纳米管集合体及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101039873A
申请号 ：
CN200580029941.7
公开（公告）日 ：
2007-09-19
申请日 ：
2005-11-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
泷优介筱原清晃
申请人 ：
尼康股份有限公司
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄健
优先权 ：
CN200580029941.7
主分类号 ：
C01B31/02
IPC分类号 ：
C01B31/02 H01J9/02
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法律状态
2010-04-21 ：
授权
2008-01-02 ：
实质审查的生效
2007-09-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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