测试表面的光学检验
专利权的终止
摘要
一方面，根据确定的强度变化，通过改变分辨率减小了存储从比如Parousiameter的散射计(100)获得的图像强度数据所需的数据量，强度数据以此分辨率在网格的不同区域中使用。另一方面，散射计设置有非球面镜(170，900，1000)，用于对测试样品(180)成像，以校正由于反射镜相对于测试样品的偏心放置所引入的失真。另一方面，光学表面检验装置在测试表面(1420)和照亮的图形网格(1410)间使用了辅助透镜(1440)，以将图形网格(1610)投影在测试表面上。相机(1450)聚焦在作为实像的测试表面的网格上。
基本信息
专利标题 ：
测试表面的光学检验
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101036045A
申请号 ：
CN200580034172.X
公开（公告）日 ：
2007-09-12
申请日 ：
2005-10-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
斯皮克·瓦德曼
申请人 ：
皇家飞利浦电子股份有限公司
申请人地址 ：
荷兰艾恩德霍芬
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
王英
优先权 ：
CN200580034172.X
主分类号 ：
G01N21/47
IPC分类号 ：
G01N21/47
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/47
散射，即漫反射
法律状态
2019-09-24 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01N 21/47
申请日 : 20051005
授权公告日 : 20100901
终止日期 : 20181005
申请日 : 20051005
授权公告日 : 20100901
终止日期 : 20181005
2010-09-01 ：
授权
2007-12-05 ：
实质审查的生效
2007-09-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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