用于离子束植入器的波纹管式套管
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种离子束植入器(10)包括：束形成及指向装置(50)；及，一植入站，其中工件自一离子束的离子而植入。该束沿着自一离子源行进至植入站之一真空路径。一种可挠性的波纹管(100)将该植入站耦接至束形成及指向装置，其允许该植入站为关于束形成及指向装置而枢转且藉以改变关于离子束的工件的植入方位。一种可更换、可挠性的波纹管式套管(70)配置于波纹管之一内部区域，以降低其沉积于波纹管之一内部表面的植入副产物之量。
基本信息
专利标题 ：
用于离子束植入器的波纹管式套管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101069261A
申请号 ：
CN200580041406.3
公开（公告）日 ：
2007-11-07
申请日 ：
2005-09-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
L·史东S·巴鲁梭D·史东A·裴瑞尔
申请人 ：
艾克塞利斯技术公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
崔幼平
优先权 ：
CN200580041406.3
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2010-08-18 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101004080014
IPC(主分类) : H01J 37/317
专利申请号 : 2005800414063
公开日 : 20071107
号牌文件序号 : 101004080014
IPC(主分类) : H01J 37/317
专利申请号 : 2005800414063
公开日 : 20071107
2008-01-02 ：
实质审查的生效
2007-11-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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