双极器件中恢复热载流子引起的退化的方法

专利权的终止

摘要

提供一种恢复由雪崩热载流子造成的退化的方法，包括使呈现雪崩退化的空闲的双极晶体管经过热退火步骤，所述热退火步骤升高所述晶体管的温度从而恢复双极晶体管的雪崩退化。在一个实施例中，退火源是其为与双极晶体管的发射极并排设置的含Si电阻器的自加热结构。在恢复步骤期间，将包括自加热结构的双极晶体管设置为空闲模式(即无偏置)并且来自单独电路的电流流过自加热结构。在本发明的另一实施例中，退火步骤是在双极晶体管在未达到雪崩条件(V_CB小于1V)的条件下工作的同时向其提供高正向电流(约为峰值fT电流或更高)的结果。在以上条件下，可以恢复退化的约40％或更高。在本发明的另一实施例中，热退火步骤包括快速热退火(RTA)、炉退火、激光退火或峰值退火。

基本信息

专利标题：

双极器件中恢复热载流子引起的退化的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101073149A

申请号：

CN200580041988.5

公开（公告）日：

2007-11-14

申请日：

2005-12-08

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

F·瓜里恩J·E·小霍斯特泰S·E·劳赫三世王平川Z·J·杨

申请人：

国际商业机器公司

申请人地址：

美国纽约

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

于静

优先权：

CN200580041988.5

主分类号：

H01L21/337

IPC分类号：

H01L21/337 H01L21/8238 H01L21/8249 H01L21/331 H01L21/8222 H01L27/082 H01L27/102 H01L29/70 H01L31/11