蒸发源装置
专利权的终止
摘要
一种蒸发源装置，包括：熔融部(24)、滞留部(21)、蒸发部(22)、喷射部(23)。对筒状发热体(241)、(211)通电而发热，使线状的蒸发材料(31)熔融。熔融的蒸发材料(32)从加热容器(242)移动到加热容器(212)并滞留。加热容器(212)的蒸发材料(32)从降下用开口(216)沿着降下用柱状体(224)降下。在其降下的过程中，蒸发材料(32)由于筒状发热体(221)的辐射热而蒸发。蒸发材料(32)的蒸气从喷嘴(232)向基板(61)喷射。筒状发热体(241)、(211)、(221)、(231)由石墨形成，当对电极(213)和(214)、(214)和(222)、(232)和(233)施加电压时，就会发热。
基本信息
专利标题 ：
蒸发源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101080507A
申请号 ：
CN200580043015.5
公开（公告）日 ：
2007-11-28
申请日 ：
2005-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
福田辰男
申请人 ：
双叶电子工业株式会社
申请人地址 ：
日本千叶县
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陶凤波
优先权 ：
CN200580043015.5
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2013-12-04 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101550522016
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2005800430155
申请日 : 20051020
授权公告日 : 20100203
终止日期 : 20121020
号牌文件序号 : 101550522016
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2005800430155
申请日 : 20051020
授权公告日 : 20100203
终止日期 : 20121020
2010-02-03 ：
授权
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-11-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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